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亲水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的亲水涂层 疏水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的疏水涂层
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探针材料:氮化硅;针尖形状:球形;微球材料:二氧化硅或 微球直径:2微米至18微米;背面涂层:有
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